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Local Scrubber废气处理特性
半导体工艺中常使用的化学物质及其副产物,一般依照其化学特性与其不同的影响范围,可分为:
1.易燃性气体如SiH4、H2等
2.毒性气体如AsH3、PH3等
3.腐蚀性气体如HF、HCl等
4.温室效应气体如CF4、NF3等
于是及以上哪几种有机烟焊接烟尘物对学习环境或人体皆存在千万的威胁性,需必免其立即排放物豪迈中,于是,通常半导体器件机械厂都以可以加装部件实现门头中心地方有机烟焊接烟尘物清理程序.但此程序仅以水洗條有机烟焊接烟尘物.故其应用面积只能于清理水阴离子型有机烟焊接烟尘物,尚未因应不断发展且任务分配细微的的半导体器件机械加工工序流程有机烟焊接烟尘物.于是需遵循原则各加工工序流程所ip产业出的有机烟焊接烟尘物特点玩法,决定组合相对应应的有机烟焊接烟尘物清理机械,才能够合理消除有机烟焊接烟尘物现象.而于是操作领域或多或少离中心地方有机烟焊接烟尘物清理程序前,常因有机烟焊接烟尘物特点会引发管道中凝结或焊接烟尘推积,会造成管道空气能管道堵塞后会引发有机烟焊接烟尘物用户名,厉害者而且引发暴炸,尚未狠抓现象操作人群之操作健康安会.于是在操作领域需系统配置适宜加工工序流程有机烟焊接烟尘物特点的中大型有机烟焊接烟尘物清理机械(Local Scrubber),以极大减少在操作领域延误的有机烟焊接烟尘物,狠抓人群健康安会。
半导体工艺废气处理方式
依据废气处理的特性,在处理可分为四种处理方式:
1、水洗式(处理腐蚀性气体)
2、氧化式(处理燃烧性,毒性气体
3、吸附式(干式)(依照吸附材种类处理对应之废气）
4、等离子燃烧式(各类型废气皆可处理)
Scrubber汽车尾气净化加工处理装制可净化加工处理固体类种相应半导体设备、液晶显示器相应太阳光能等行业内中蚀刻生产工艺与化学物质气相色谱的堆积生产工艺中在使用的特气，首要相应SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。
