LED本质片研发工作中铝合金有机肥料物物理化学色谱沉淀积累(MOCVD)新工艺会造成许多尾气排放，其最主要的材料为氢氧化钠NH3、氧气H2，新风系统均是注重的研发主要原料，出售用币值高，没法直排，须经过尾气排放补救的设备做无副作用化补救，面可以通入空气。

现下，工业化上尾气排放整理机器设备的通用的做法有自燃法、水消除法和物理电化学发光等，相应哪些做法的搭配利用等。1、烧燃法MOCVD烟气中的H2、氢化物、合金材料设计化学物质等可用到然烧法清理，时氢氧化的钠在高温作业颁发生氧化的分解掉体现,转为环保的CO2, N2和H2O等。2、水降解法水代谢法是MOCVD尾气正确处置常用用的办法，尾气中多量的MO源成份经水代谢后可全弄掉;随便NH,易被代谢确立氨水,但仍有多量留,没能随便的排放,且H2要有进步正确处置。3、化学物质法(酸降解法)检查是否法使用检查是否实验试剂与有机烟粉尘中的氨会发生检查是否反應转为比较平衡的检查是否碳氢化合物后结晶脱离,这让有机烟粉尘中的NH3收获树脂吸附。

光于多种烟粉尘补救形式和氮氧化合物补救產品，皆有优优点缺点和常用空间。如以内这几种形式都能够让烟粉尘符合标准，但在资源的量回报层面具有些亟待挺高：（1）丙烷燃烧法没法回报NH3和H2，资源的量浪费粮食造成 ；（2）水吸取法能获得低质量浓度氨海產品品，但普通需提浓补救后就能工艺废水处理于工艺研发；（3）酸吸取法回报获得铵盐饱和溶液，需进--步脱离和分离纯化才造成铵盐產品，而铵盐脱离分离纯化时普遍存在能源消耗大、的费用高的情况，且铵盐品质保证进一步挺高。

在尾气处理设备中还有一种Local Scrubber的小型尾气处理时设备，处理小流量废气，为就近初步处理工艺废气，避免废气在管道中滞留发生变化导致事故，有时也作为废气应急设备。其中，吸附式的尾气处理设备就是采用种类多样的吸附材（吸附剂）来吸附所要处理废气中的气体组分，有几乎可处理所有废气，处理效率高、处理过程中无明火、无废水和低耗能等特点。

上面，LED外延性片产量进程中金属质有机的物药剂学气质联用积聚(MOCVD)加工工业废气中包含更多NH3和H2，须在废气排放治理 设备中治理 方式 净化系统侧后方可排放到大气层。接下来，多谢您的阅读理解！