珠海开云电子 科技发展不足公司专门技术创新构思创造高纯生产工艺技术实验室气体平台光学特气生产工艺技术烟气正确处理装备local scrubberWFS-100F吸收式local scrubber 废气进行工作装备可进行工作气态总类例如半导体芯片、夜晶各种太阳的光能等服务业中蚀刻生产工艺与物理气相色谱仪岩浆岩生产工艺中使用的的特气，最主要的例如SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。