半导体材料晶圆厂在晶圆手工制造生产工艺中在使用到的有机化学物资类形花样繁多，常用到的原货位或副代谢物富含多样危险性固体，在生产工艺后导致残渣作为有机废气，烟气外理机 (Local Scrubber)使用效果，只是 为外理某种意义此种的危险性固体。

半导体制程中使用气体

遵循原则有关系规范着火低限在百分之一十以内或着火累计与低限之差在百分之一十往上之其他气体，在半导厂施用的有：AsH3、B2H6、SiH4、SiH2Cl2、Si2H6、SiHCl3、GeH4、PH3、NH3、H2、H2Se、H2S等；前提条件相应的規定限度浓硫酸浓度在数百万分其二百下例之渗透性固体在半导体芯片厂利用的有：AsH3、AsCl3、B2H6、BF3、CL2、SiH4、SiF4、NH3、CCl4、HBr、HF、PCl3、POCL3、GeH4、PF3、HCl、PH3、H2Se、H2S等。

在其中涵盖许多种特定金属制与氢化物如SIH4、WF6等有机物；并且方便保持着机台的室内温度保持、抗生物学作用的进行润滑处理与特定具体需求，也会选用较高分数子的PFCs等温室乙炔气。等等有影响的性乙炔气及全氟无机化合物，有很多很多是存在2项这之性，如酸碱度性乙炔气，应该来说 亦并且存在致毒;又如PH3则存在腐化性和致毒外，亦存在可燃性，且对自然环境及人体组织的影响该是大。等等工艺后残存的乙炔气如若于输水管线中作用，轻者机会有通风管赌塞、内部管道腐化等问題，特别情况严重或是發生氯气泄露及火情爆炸案，停此生产制造的效果。

工艺尾气排放净化处理产品(Local Scrubber)设计效果

生产工艺汽车尾气外理系统(Local Scrubber)设为之主要目的，只是 关键在于外理类似于相应的害处性乙炔气，让其在没有灰尘室机台端(POU)表现被产生出后，即由真空系统Pump抽至Local Scrubber做外理，规避在繁杂的泄压阀步骤中引起非预想的乙炔气氯气泄露，部分区域聚积或共同表现。待外理后过的乙炔气再接转至厂务端做第二点道防范，以可以减少厂务端水有机废气外理上的负载，到对半导体材料业自然空气水污染破坏管控及产生的准则。如若一种旦有告警以求发生了渗漏的情况，很将会会引发各个有害如着火容易引起爆炸、人士重毒、自然环境毁损等暴击伤害，特别严重时更将引发人士意外死亡或产量中止等硕大亏损，任何国内的各晶圆厂莫不藉由各个的管理方式英文，来提升制造排放领域处理机械设备的有害调节。

综上所述，制程尾气处理设备Local Scrubber设置目的是为了，可以行之有效的处理制程中的有害性气体残留，避免风管堵塞、管路腐蚀、发生泄漏及火灾爆炸，停止生产等问题事故的发生。