TFT-LCD（薄膜和珍珠棉尖晶石管液晶拼接屏展现屏）就是一种基础理论科技，自三十五世记一百三五年间刚刚开始军用到现在，它莫染为当代工作无法或缺的构成的有些，其选用远不仅限于影视机和自动化苹果手机，它现实存在于我们的定期工作中的方方位面：机械手表（可配戴机械）、电器产品、品牌广告、标牌设计、车子等。现在首要分享一下子展现制造厂生产工艺需求要的特殊气物，和确认气物安全保障输料利用的特气整体。

TFT展示屏研发与半导体技术元器件研发等方面有大多类似的事例，就像：这2种研发的时候中都要实用非常多的汽体、就像加工制作工艺 方法中的磨合、刻蚀、清洁卫生和掺入，以及各种方法实用的汽体型号也都相当类似的。

这种乙炔气中電子劳动防护乙炔气（ESG）涉及到硅烷、三氟化氮、氟（当场造成）、六氟化硫、氯气并且磷化处理氢比调物，占提示屏造成中选用乙炔气的52％。比喻硅烷：SiH4是提示屏造成中最关键点的乙炔气之四，与氯气（NH3）综合起来选用，导致广泛在非晶硅（a-Si）晶状体管的氮化硅层，与氢气（N2）综合起来选用，导致广泛在温度多晶硅（LTPS）晶状体管的预准原子核激光器淬火非晶硅（a-Si），或与被阳极氧化反应亚氮（N2O）综合起来选用导致合金金属被阳极非金属硫化物（MO）晶状体管的被阳极氧化反应硅层。

TFT-LCD中的特气系统

为保证TFT显示屏制造中易燃易爆、剧毒性和腐蚀性等危险性电子特种气体的安全使用，都会安装特气系统。特气系统由半导体SEMI S2认证的特气柜（GC）、特气架（GR）、VMB/VMP以及特气管道组成，保证如硅烷、笑气（N2O）等特种气体的安全输送。

上述情况，TFT-LCD现示屏制作业中PECVD（等阴离子体怎强生物学液相沉积状）、蚀刻、LTPS和MO纳米线管的加工都须要采用特总工艺气物，而特气软件中的SEMI S2认真的特气柜（GC）、特气架（GR）、VMB/VMP或者特气地埋管保护特总工艺气物的安全卫生气流输送，并保护气物饱和度和不稳定性压差。