2021-01-26 10:45:59 责任编辑: 高纯气体管道安装公司 0
什么是高纯气体管道配管技术?所谓的高纯气体配管技术,是包括高纯供气系统的正确设计、阀门管件及附件的合理选择、管道施工、安装试验和测试等;是高纯气体供应系统的重要组成部分;是保证高纯气体安全稳定的输送到用气点,且符合设备使用要求的关键技术。
高纯气体管道工程应用领域
高纯固体通道软件过程拥有 能绝对固体的溶解度、绝对的规定固体留量、压为安全和量值表达不的发生变迁等优点,具有广泛性选用于半导、智能家居控制电源电路、光电科学技术、货车、新自然能源、纳米技术、光纤传输、微自动化、原油化工新材料、怪物医疗器械、繁多科学试验室、科学技术科研所、的规定测试英文等高科学技术业内。常见气体种类:
在光电元器件工艺中平常乙炔气,也称特色乙炔气(Bulkgas):氯气(H2)、离氢气(N2)、二氧化碳(O2)、离氢气(A2)等;除平常乙炔气外,光电元器件工艺而且还会通道许多的高纯机械乙炔气(Specialty gas ),如:SiIH4、PH3、B2H6、CL、HCL、CF4、POCL3、BCL3、SIF4、CLF3、C2F6、N2O一系列。哪些特殊化乙炔气基于乙炔气材质,等级分类普通可以分成生锈性、致癌性、易燃易爆性、助燃性、惰性等。常用半导体气体分类如下:
(一)浸蚀性/毒素: HI、BF3、WF6、HBr、SiH2C2、NH3、PH3、C12、BCI3等(二)可燃性: CH4、SiH4、PH3、AsH3、SIH2CI2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO等(三)助燃性: O2、C12、N2O、W3等(四)惰性: CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He等以上,便是关于高纯气体配管技术及电子工业中常见的气体种类的简单介绍,感谢您的阅读!