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高纯气体不锈钢管道技术

高纯度气体管道技术是高纯度气体供气系统的重要组成部分，是高纯度气体能够供应到要求的供气点的重要技术。 所谓高纯气管技术包括系统的正确设计、接头和附件的选择、施工和安装、试验和测试等。

一般气体种类

普通气体电子工业中普通气体的分类:普通气体，又称本体气体:氢( H2)、氮( N2)、氧( O2)、氩( A2)等

特殊气体( Specialty gas )主要为SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4N h3po cl3si h2 cl2si HCl3n h3bcl3s if4c l3co2f6n2o2hfhbrfsf6...等等。 特殊气体的种类通常分为腐蚀性、毒性、易燃性、助燃性、惰性等。

一般半导体气体的分类如下

(1)、腐蚀性/毒性: HCl、BF3、WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、PH3、Cl2、BCl3 …等

(二)、可燃性: H2、CH4、SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO…等

(三)、助燃性: O2、Cl2、N2O、NF3…等

(四)、惰性: N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He…等半导体气体多对人体有害。

特别是SiH4等一些气体具有自燃特性。 一旦发生泄漏，就会与空气中的氧反应激烈，开始燃烧。 AsH3也有毒性。 轻微的泄漏可能会伤害人的生命。 由于这些明显的危险，对系统设计的安全要求特别高。