半导体器件行业生出现产技术中硅烷（SiH4）都是种特种车辆气味，在半导体器件行业工业制造中其主要用到生产高纯多晶硅、借助CVD（化学反应液相沉淀）生产技术生产二空气氧化硅bopp保护膜、氮化硅bopp保护膜、多晶硅隔离防晒层、多晶硅欧姆触及层和异质等。SiH4在用到时会出现的废气排放物，如私自废气排放物工作设备管理就单独高酸度对外开放废气排放，对人休和情况的极端天气干扰是始终无法估量的。
硅烷做为一个提供了硅混合物的的废气源，的反应性和火灾性减弱，有尤其宽的自行火灾范围图和好强的燃燒电量，毒素更大，若果人身体吸进单硅烷也就会减弱促使深呼吸组织，是一种个高安全隐患性的的废气。
在光电器件铸造厂中，因任务位置一半离管理中心的有机工业废气除理装置远，要为避免出现在繁琐的改装排气管工作中导致非预期收益的有毒乙炔气用户名，轮廓聚积等事情，硅烷（SiH4）的有机工业废气从脱尘室机台端(POU)反應被排出出后，即先由真空箱Pump抽至的有机工业废气除理装备Local Scrubber做除理，待除理后的有毒乙炔气再转续至厂务端做其次道应对。
吸附式废气处理设备Local Scrubber处理尾气废气的特点？
1. 以吸桶可以加工设备烟气2. 不会用火、净化室室内不产生火源计划3. 减少清洁能源、就没有高耗费的电能的要4. 不想要消耗量水資源，找不到废水处里处里话题5. 加强组织领导废气排放治疗的安全保障性治疗时候中不的危害6. 得当加工处理废角料，不会影响宇宙情况
综上，诸如硅烷（SiH4）此类危险性废气如若未及时处理，倘若其一旦有故障进而发生泄漏的问题，很可能会导致各种危害如火灾爆炸、人员中毒、环境破坏等伤害，严重时更可能造成人员伤亡或生产中断等巨大损失。同时，随着半导体工艺分工越发细微，应根据不同工艺衍生出来的气体特性，选择搭配合适的有机废气治理加工处理机械设备Local Scrubber，才能更有效的解决废气问题。
