半导体技术器件制造技术生产方式中会适用到各种非常规固体，跟着存在的特气污染物前须进行污染物治疗安全装置Local Scrubber做治疗，再延续至厂务端做第三道处里后排座出。这些是要想杜绝在空泛的排气阀的过程 中触发非预期目标的固体氯气泄露，布局聚积或彼此不良反应等事故，以减轻厂务端生态破坏物治疗上的热负荷，达到对半导体技术器件业氧气生态破坏监管及污染物的标淮，杜绝对室内环境和身边工人引发风险。

吸附物式排放治理 设施Local Scrubber基本上都可以治理 整个小留量的空气（个部分PFC空气例外），一并因为其就不需要无明火、不所产生污水、低耗电的性能参数显著特点，是特气排放治理 的普遍设施。

在气体活性炭吸附式废气排放加工系统设计 Local Scrubber 中气体活性炭吸附材以高间隙率和高强度插入的提升喝进去进产品出口气体压力，往往废气排放进产品出口端增添变频式送风机可起着以內用：

1、完善生命周期：变頻生产的风机可完善抽气阻力，以完善的药剂插入用量，完善应用生命周期。2、安全固定可靠的学习负担：交流变频鼓风机电机可会根据设计的学习负担值或厂务端标准气压重新优化鼓风机电机速比，安全固定可靠设配内的学习负担值主气体总流量，确认清理生产率安全固定可靠。3、防范逆流：生产工艺中若含有易梗塞管线和药物制剂的烟尘，PLC会数据更改经济压，定时調整高压风机转动速度长期保持喝进去经济压值，防范有机废气治理逆流，可能会导致程序及产品妨害。

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