对于特种工艺气体而言，由于在芯片生产中需要与芯片接触并参与反应，因此需选用经电解抛光（Electro-Polish）处理的316L不锈钢管，即SS316L EP管，其耐腐蚀性好，表面粗糙度低，Ramax（最大表面粗糙度）<0.7微米。光滑的表面使颗粒无从吸附滞留，从而保证气体的纯度。

对一般的氦气而言的，是由于其并不为为生产工艺中的体现其他气体，还能够使用的经光芒烧结法（Bright Anneal）进行解决的316L不锈涂塑塑料管，即SS316L BA管，也还能够运用经检查是否洗掉（Chemical Clean）进行解决的316L不锈涂塑塑料管，即SS316L CC管。其Ramax为3-62um。