2021-01-12 14:03:50 责任编辑: 特气系统工程设计安装公司 0
什么是锗烷?
锗烷(GeH4)就是一种无色透明、高毒性、可爆燃、非腐化性其他乙炔气。相对于锗烷的其他乙炔气概念,热稳定可靠差,较高温高压度时(大概是280℃)会工业制硝酸成锗和氮气;自促使性较强,易得生工业制硝酸爆炸案,危险物品性很高!锗烷的用途
锗烷(GeH4)是制造出高纯锗和各种各样硅锗各种合金的关键原素建筑材料,大部分应用在半导体技术,光伏发电太阳队能和结合电线该行业。譬如,在MOCVD(重金属生产物普通机械气质联用形成沉积)技术中,锗烷(GeH4)常和硅烷,可以通过特气机系统的输送机,作乙炔气原素建筑材料,生产硅-锗保护膜。在半导体行业集成型电路板电子设备电子元件加工创造中,锗烷做硅-锗(Si-Ge)膜的前轮驱动空气,组织加工创造。因在异质结二极多纳米线管(HBT)中,薄硅锗层做二极多纳米线管的底材生長在硅片上,与普通的硅二极多纳米线管较之,硅-锗HBT在流速、为了积极地响应率和增加收益上拥有非常明显的优劣势,其流速和率为了积极地响应就可以与更高昂的镓-砷HBT较之。锗烷特气系统的作用
做半导体芯片企业的适用自动化气态,绝大多数几乎都是的有风险性因素气态,如硅烷、锗烷。等等非常规气态倘若应用常规的的供汽模式,会更具极大的的有风险性,会造成的事故案例的形成,恐吓到生孩子人数稳定。任何须要应用另一种对稳定性呈现出最高的标准的供汽模式,也那就是自动化特气模式。锗烷特气系统由锗烷特气柜、气体阀门分配箱VMB、耐腐蚀的316L不锈钢管路及气体泄漏监测报警系统组成,主要的作用是保护气体的纯度、安全、提供稳定的气体压力和不间断供气。