2021-01-08 14:00:18 责任编辑: 特气系统工程设计安装公司 0
四氟化碳(CF4)介绍:
四氟化碳(CF4)就是一种无色透明没味的废气,无污染、助燃性,但在高质量浓度时具局麻能力,且挥发性有机物性较高,与可燃性废气助燃时,会可分解引发有毒有害氟化物,具需要的快消失性。在半导体设备、ibms线路等网上服务研发中,等铁正离子表层刻蚀是种经常用到的加工制作工艺 ,是再生利用类型的气味整合建成包括高蚀刻性的气相色谱仪等铁正离子体与小球表层的有机的物基体会出现生物生理反应,导出一些譬如CO,CO2,H2O等气味,才能做到蚀刻的的。四氟化碳是实现了刻蚀职能的这种标准气味。四氟化碳(CF4)在电离前会产生含氢佛酸组分的刻蚀性气质联用等阳离子体,就能够对各类有机肥料物漆层实现了刻蚀及有机肥料物物除掉,在晶圆造成、路线图板造成、大日光电瓶板造成等职业中被非常广泛使用。电子特气系统介绍:
电子无线特气系统化性由燃气管道安装端(CF4是废气瓶燃气管道安装)、GC特气柜/GR特气架、废气球阀计算箱VMB/VMP、耐腐蚀性强性的316L EP不锈圆钢管道和废气数据监测报案系统化性等分解成。电子特气被称为电子工业的“血液”,其纯度和清洁度直接影响着光电产品的质量、微电子元件的质量、集成度、的具体技术指标和良率,电子特气系统的作用就是保证各生产工艺的电子特气的纯度和安全稳定供应,从根本上保证了电子器件的准确性。
综上,电子四氟化碳是目前半导体行业主要的等离子体蚀刻气体之一,在硅、二氧化硅、金属硅化物以及某些金属的蚀刻,以及低温制冷、电子器件表面清洗等方面被广泛应用。而电子特气系统为它保驾护航,保证四氟化碳(CF4)的纯度和安全稳定使用。